12 месяцев назад 10 марта 2023 в 16:16 9558

«Фабрика идей» Микрона, резидента ОЭЗ «Технополис Москва», помогает развивать культуру инноваций, по инициативе сотрудников внедрено уже 18 проектов на узловых участках производства. Одним из проектов корпоративной программы стала модернизация технологического оборудования кристального производства на участке химической обработки для оптимизации процесса травления нитрида кремния, которая обеспечила 25% экономию одной из используемых в техпроцессе кислот.

«Производство микросхем включает физические, химические, термические и механические процессы, требующие сложного технологического оборудования и сверхчистых дорогостоящих материалов. Каждая операция на каждом этапе производства строго регламентирована, контролируется в автоматическом режиме и является стандартной для любой из фабрик в мире, но наша практика убедительно показывает, что даже в этом идеальном механизме есть точки роста и простор для применения изобретательских, рационализаторских и инженерных талантов», – считает Ирина Коротова, директор по производству АО «Микрон».

При выполнении процесса травления нитрида кремния на пластинах D200 кристального производства в стандартном алгоритме нагрева ортофосфорной кислоты (H3PO4) до 160С применяется два штатных нагревателя, работающих постоянно на 100% своей номинальной мощности. За время эксплуатации установки было выявлено, что такая конфигурация нагревателей не является оптимальной, в частности отсутствует защита от перегрева, а перегрев напрямую влияет на расход ортофосфорной кислоты. Инженеры Микрона нашли решение этой задачи: разработали и установили регулятор мощности погружного нагревателя, который позволяет управлять интенсивностью кипения, экономить ценные реактивы и свести потери к нулю. Модернизация установки окупилась за 1 месяц.

«Раньше мы не могли влиять на работу нагревателей и расход кислоты, хотя любому специалисту очевидно, что такая конфигурация не является оптимальной для сложного и дорогостоящего производства: ведет к большой потере кислоты за счет интенсивного кипения и испарения, — отметил автор проекта, главный специалист по обслуживанию оборудования Денис Медведев. – Теперь регулировка мощности нагревателя дает возможность обойтись без перегрева и других нежелательных последствий и снизить расход ортофосфорной кислоты до адекватного минимума, что и было нашей целью в данном случае».

Фабрика идей — один из инструментов развития культуры инноваций на предприятии, которая реализуется с августа 2019 года. Поддержка инициатив сотрудников направлена на поиск эффективных идей, применение лучших практик организации производства и обеспечения качества продукции, улучшение условий труда, снижение операционных затрат и издержек, экономию материалов, повышение производительности труда.

Никто не прокомментировал материал. Есть мысли?